兩聯(lián)三通隔膜閥
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產(chǎn)品信息
產(chǎn)品介紹
兩聯(lián)三通隔膜閥，集成式設(shè)計(jì)，緊湊型閥體，吹掃效率高，內(nèi)部無螺紋和無彈簧設(shè)計(jì)，死體積小清潔度高，膜片式硬密封結(jié)構(gòu)，超低漏率；適用于超高純度氣體，半導(dǎo)體用（毒、腐）氣體，滿足超大規(guī)模集成電路的工藝氣體要求。
主要部件材料
閥體 316L /316L（VIM+VAR）
膜片 Ni-Co alloy /UNS R30003
密封墊 PCTFE
工作條件
工作壓力 真空至 150psig
爆破壓力 3000psig
流量系數(shù) 0.3
工作溫度 -10～80℃
內(nèi)漏率 ≤1×10-10Pa.m3/sec.He
外漏率 ≤1×10-10Pa.m3/sec.He
內(nèi)表面粗糙度 Ra≤0.1μm
產(chǎn)品特點(diǎn)
適合超高純度氣體應(yīng)用
Ni-Co alloy /UNS R30003 材料膜片
快速、可重復(fù)執(zhí)行的氣動執(zhí)行機(jī)構(gòu)
每臺閥門進(jìn)行單獨(dú)的氦質(zhì)譜檢測
超長使用壽命內(nèi)部無螺紋和無彈簧設(shè)計(jì)大幅減少了雜質(zhì)的生成和氣體的卷入
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2024-11-21
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